PureBeta

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ブリヂストンはタイヤで培った高水準の高分子技術を駆使し、また、当社が有するナノテクノロジー技術の粋を集め、世界最高レベルの高純度炭化ケイ素焼結体「PureBeta(ピュアベータ)」を完成させました。
「焼結SiCは純度が低い」という常識を覆し、ピュアベータは世界のトップレベルの半導体、装置メーカーに採用されています。

高純度の理由とサービス体制について

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導入プロセス

ブリヂストンは粉体と焼結体の製造・加工・洗浄・評価分析に至る全ての技術を独自に開発し、日本国内で生産。
原料粉体合成から焼結、加工、洗浄まで、全工程をクリーンルーム内で一貫製造しています。(一部加工除く)

お客様のご要望に応じて、最小ロット1つより、オーダーメイドにて生産対応可能です。

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ブリヂストンのサセプターは、全て超高純度SiCで構成されたバルク体で、高い耐久性と信頼性を誇ります。
耐アンモニアガス性に優れているため、コート剥がれや消耗等による汚染の心配がなく、長寿命でCOO(Cost of Ownership)削減に貢献します。
また、洗浄液がサセプター内部に浸透、残留する心配がないため、CVD-SiCコートグラファイトと異なり、ウェット洗浄が可能です。

CSサセプター

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ダミーウェハ

ブリヂストンのダミーウェハは、形状安定性に優れており、耐食性、耐熱性で長期リサイクルが可能です。
様々なアプリケーションに対応可能な高純度SiCダミーウェハです。

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ヒーターエレメント

ブリヂストンのヒーターエレメントは、全て超高純度SiCで構成されたバルク体で、極めて高い耐久性と均熱性を誇ります。

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